Полугусеничный артиллерийский тягач Sd Kfz 6 с тяговым усилием 5 тонн был разработан конструкторами германских фирм Buessing-NAG и «Daimler-Benz» в начале 1930-х годов и предназначался для транпортировки артиллерийских расчётов с обслугой по шоссе и бездорожью. Производство нового транспортного средства было начато в 1935 году и продолжалось до 1943 года на заводах фирм Buessing-NAG и «Daimler-Benz».

Новая машина имела полугусеничный ход, что заметно повышало проходимость транспортера, особенно когда вермахт ещё не имел транспортных средств на гусенечном ходу. С каждого борта имелось по шесть опорных катков, расположенных в шахматном порядке; снабжённые механизмом для натяжения гусениц ведущие колёса находились впереди.

Техническая характеристика
Боевая масса 7,5—9 т (в зависимости от модификации)
Размеры:
длина 6325 мм
ширина 2260 мм
высота 2500 мм
Экипаж: 1 водитель, 6-14 пассажиров ((в зависимости от модификации)
Тип двигателя: 6-цилиндровый Maybach HL 54TUKRM, 115 л. с.
Запас хода 300 км
Максимальная скорость 50 км/час

В зависимости от предназначения тягач выпускался с кузовом одного из двух типов:
Артиллерийский тягач Sd.Kfz.6/1 имел кузов с оборудованным в его кормовой части зарядным ящиком, в котором перевозились боеприпасы к буксируемому орудию.
Машина для инженерных войск (PF 10, PF 11 и PF 12) оснащалась кузовом, предназначенным в основном для перевозки личного состава; инженерное оборудование находилось, как правило, на буксируемом прицепе.

На обоих типах кузовов скамьи для размещения личного состава устанавливались поперёк продольной оси машины, с обеих сторон кузова имелись вырезы для быстрой посадки десанта. Для защиты от дождя и снега над кузовом и кабиной разворачивался брезентовый тент.Всего выпущенно 3660 ед.

К 1 марта 1945 года в частях вермахта и войск СС насчитывалось 757 машин этого типа, чассть из которых использовалась не в качестве артиллерийского тягача, а в других целях.

Основные модификации
3.7cm Flak 36 auf Selbstfahrlafette Sd.Kfz.6/2 — самоходная зенитная установка. Также использовались советские 37-мм зенитные пушки, которые получали обозначение Flfk-39(r).
7.62cm Pak 36(r) auf 5t Zugkraftwagen «Diana» Sd.Kfz.6/3 — данная машина была чистой импровизацией — на Sd.Kfz устанавливали артиллерийское орудие. В действующих войсках также «изготавливали» подобные машины — на места для солдат просто закатывалось полевая пушка.
75-мм самоходное орудие — тоже импровизация с установкой пушки калибра 75 мм.